產品名稱：HMDS真空幹燥箱（高真空幹燥箱）

產品型號

BPZ-6060MS

BPZ-6090MS

BPZ-6060HV

BPZ-6090HV

產品特點

用途概述（shù）：

HMDS真空幹燥（zào）箱用於（yú）半導體晶圓（yuán）在進行HMDS預處理工藝中的幹燥（zào），通過程序設定，使抽真空-通氮氣（qì）-抽真空-等實現自動控製，自動（dòng）實（shí）現HMDS預處理工藝過程，用於光刻過程（chéng）的塗膠工藝；

高真空幹（gàn）燥箱可在潔（jié）淨環境下（xià）使用（yòng），滿（mǎn）足潔淨環境下的高真（zhēn）空，無塵生產工藝，半導體晶圓生產工藝車間使用，用於半導體、電子、醫療衛生、儀器儀表等領域的無氧化幹燥工藝；

產品（pǐn）特點（diǎn）
● 采用智能觸摸屏控（kòng）製（zhì），溫度、真空度、時間等直接（jiē）設（shè）定，菜（cài）單式操作，操作維護方便；
● 工作室采用316不（bú）鏽鋼，更好（hǎo）耐酸堿（jiǎn）腐（fǔ）蝕，確保產（chǎn）品經久耐（nài）用，便於清潔；
● 長方形真空室，使有效容積大，能充分利用空間（jiān）；
● 彈性雙層鋼化玻璃門觀察（chá）工作室內物體，一目了然；
● 箱（xiāng）門閉合鬆緊可調節，整體成型的合成矽橡（xiàng）膠門封圈，確保箱（xiāng）內高真空度；
● 增設（shè）超溫保護溫（wēn）控口，有效的防（fáng）止溫度失控等安全問題（tí）；（選配）
● 低噪聲專業真空泵，真空控製穩定可靠；（HMDS真空（kōng）幹燥箱）
● 采用內（nèi）膽加熱，箱體內無任何電子元器件，無汙染，不易被腐蝕，使用更加安全；
● 采用超高真空泵，能夠保證箱體內真空度達1.0×10-4Pa；(高真空（kōng）幹燥箱)
程序控製
● 程序控製操作，可根據工藝需求設定加熱、真空（kōng）度設定、通氮、時間等參數實現自動程序控製，確保每批次（cì）烘烤一致性，降低產品的烘烤差異性；
● 具有485通訊（xùn）接口，可以通過外置軟件程序實施查看設備運行狀況和程序運行狀況，保證設備一直運行在（zài）監控當中；
技術參數

技（jì）術指標（biāo）\型號	HMDS真（zhēn）空幹燥		高真空幹燥箱
	BPZ-6060MS	BPZ-6090MS	BPZ-6060HV	BPZ-6090HV
電源電壓	AC220V 50HZ		AC220V 50HZ
輸入功率	3000W	3500W	3000W	3500W
控溫（wēn）範圍	RT+10~250℃		RT+10~200℃
溫度（dù）分辨率/波動度	0.1℃ /±1℃		0.1℃ /±1℃
達到真空度	100Pa		1.0×10-4Pa極限真（zhēn）空度
真空度顯（xiǎn）示	電子式真空度顯示		電子（zǐ）式真空度顯示
工作環境溫度	＋5～40℃		＋5～40℃
內膽尺寸(mm)W×D×H	400×400×400	450×450×450	400×400×400	450×450×450
外形尺寸(mm)W×D×H	600×570×1390	610×590×1350	600×570×1390	610×590×1350
擱板	2塊		2塊
加熱方式	內膽加熱		內膽（dǎn）加（jiā）熱
工作室材料	316不鏽鋼		316不鏽（xiù）鋼

※性能參數測試在（zài）空載條件下為：環境（jìng）溫（wēn）度20℃，環境濕度50%RH

注（zhù）：外殼可定製為304不鏽鋼（gāng）材質

選購件：（增加選購件交貨期7天）

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